[G] 表面・界面・触媒

[110] UBMスパッタ法により作製したArナノクラスターを含む金属ガラス薄膜の微細組織と機械的特性

*小畠 淳平¹ (1. 大阪技術研)

キーワード：UBMスパッタ法、薄膜、金属ガラス、Ar、ナノインデンテーション

UBMスパッタ法によりArナノクラスターを含む含むTi-Cu基金属ガラス薄膜を形成した。成膜条件に依存して組織中に形成されるＡｒナノクラスターの大きさ等が変化し、変形挙動も大きく異なることが分かった。