[S3] ナノ・マイクロスペーステイラリングV

[S3.7] [基調講演]有機金属分解(MOD)法によるナノ構造セラミックスコーティングの製膜技術とその応用

*菅原 徹¹、廣瀬 由紀子¹、辛川 誠² (1. 大阪大学、2. 金沢大学)

キーワード：有機金属 分解(MOD)法、ガスセンサ、有機太陽電池

本講演では、我々が開発した前駆体溶液による有機金属分解法を用いたナノ構造およびナノ薄膜を基板上に直接製膜する技術を紹介する。加えて、この薄膜成膜技術を利用したガスセンサや太陽電池への応用例を紹介する。