[J] 高温溶融体の物理化学的性質

[J17] 高温固液界面の3次元形状解析による融体中微量溶解度の測定

*川西 咲子¹、吉川 健²、Chaussende Didier³、柴田 浩幸¹ (1. 東北大多元研、2. 東大生研、3. CNRS-SIMaP)

キーワード：その場観察、溶解度、高温固液界面、画像解析

高温融体中の成分の溶解度はプロセス設計の上で重要な物性値である。本報では、著者が開発した高温その場観察法を発展させ、Si/SiC間の高温固液界面の3次元形状より百ppm以下のSi中C溶解度を評価した結果を述べる。