[S5] 金属表面の材料化学Ⅳ―めっき･耐食性･耐酸化性･触媒研究の新展開―

[S5.18] [基調講演]医用MEMS デバイス応用に向けた微小貴金属めっき材料の機械的特性評価

*曽根 正人¹、Chang Tso-Fu　Mark¹、名越 貴志²、町田 克之¹、山根 大輔³、伊藤 浩之¹、益 一哉¹ (1. 東工大、2. 産総研、3. 立命館大)

キーワード：めっき、貴金属、微小材料試験、医用デバイス、MEMS

MEMS加速度センサの構成材料をSiから金めっき材料に変更することで超高感度化が実現可能である。その実現には微小な金めっき材料の様々な物性を強化する必要がある。この方法について微小材料評価法とともに論じる。