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[S5.18] [基調講演]医用MEMS デバイス応用に向けた微小貴金属めっき材料の機械的特性評価
キーワード:めっき、貴金属、微小材料試験、医用デバイス、MEMS
MEMS加速度センサの構成材料をSiから金めっき材料に変更することで超高感度化が実現可能である。その実現には微小な金めっき材料の様々な物性を強化する必要がある。この方法について微小材料評価法とともに論じる。
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