[G] 溶融・凝固プロセス 高温プロセス

[97] 酸化ガリウム系混晶材料の融液成長に及ぼす成長方位の影響

*志賀 敬次¹、藤原 航三¹ (1. 東北大金研)

キーワード：酸化ガリウム、融液成長、一方向凝固、浮遊帯域溶融法

浮遊帯域溶融法によりFe₂O₃とAl₂O₃を添加したGa₂O₃を作製し、種結晶の面方位が融液成長時の粒成長や育成結晶のFeおよびAl濃度分布に及ぼす影響を調べた。