日本金属学会2022年秋期(第171回)講演大会

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[4] Oxford Instruments

Oxford Instruments

【Symmetry S3】 CMOS搭載EBSD検出器
Symmetry S3はEBSD分析ソフトウェアAZtecHKLとの組み合わせによって、最大毎秒5700ポイント以上の高速分析を実現し、詳細なEBSDマップや大面積マップをより短時間で収集できます。光ファイバー光学系を採用し、最大1244x1024ピクセルの高解像度パターンを、低加速電圧・低ビーム電流での収集が可能です。
 
【AZtecCrystal】 最新EBSDデータ解析ソフトウェア
AZtecCrystalは、大容量のEBSDデータを高速で処理可能なデータ処理専用ソフトウェアです。各種マップ解析やひずみ解析、粒界・グレイン解析、極点図やODFなど、使いやすいGUIによって迅速に解析することができます。最新のバージョンでは、Parent Grain解析やDislocation解析等、最先端の解析機能を搭載しています。
今回新たにMapSweeper機能が搭載されました。MapSweeperはパターンシミュレーションを使ったパターンマッチングアルゴリズムにより、EBSDデータの品質を高めます。角度精度の向上、疑似対称性エラーや対称性による指数付けエラーを除去します。
 
【AZtecLive】 ライブEDS分析システム
高速EDS検出器UltimMaxシリーズとの組み合わせにより、革新的なライブケミカルイメージング機能を実現し、リアルタイム元素マップを観察可能です。効率的に目的の視野を探し、目的の元素を見逃すことはありません。また高速収集により、EDS分析のスループットが飛躍的に向上します。
 
<Symmetry S3紹介動画>
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    分析機器事業部

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