[G] 分析・解析・評価

[7] 金属膜の自由焼結および拘束焼結中の異方的な微細構造進展のFIB-SEMトモグラフィー解析

*大熊 学^1,2、若井 史博^1,2 (1. 物質・材料研究機構、2. 東京工業大学)

キーワード：焼結、微構造進展、異方性、粒成長・粗大化、FIB-SEMトモグラフィー

FIB-SEMトモグラフィーにより観察した基板上のサブミクロン粒径の金属膜の拘束焼結における３次元異方的微構造形成を，組織断面観察から決定した切片長さや，気孔方位分布，表面エネルギーテンソルを用いて解析する.