[G] Analysis/Characterization/Evaluation

[9] In situ SEM observation using backscatter electron signal at 1200 degrees Celsius

*Takeshi Otsuka¹, Sadahiko Mochizuki¹, Masaya Hara¹ (1. JEOL Ltd)

Keywords:走査電子顕微鏡、組織観察、熱処理、粒成長、析出

走査電子顕微鏡によるその場観察で、試料を1200℃に加熱しながら組成やチャネリングといった組織に関わる像コントラストの取得方法を提案し、組織成長の様子を観察した例を報告する。