[G] Analysis/Characterization/Evaluation

[10] Characterization of HFCVD Diamond Layer by Confocal Raman Spectroscopy

*Kouji TANAKA¹, Shinya OHMAGARI¹, Takehiro SHIMAOKA¹, Hitoshi UMEZAWA¹, Hideaki YAMADA¹ (1. AIST)

Keywords:ラマン分光法、共焦点、貫通転位、歪み場、HFCVD層、モザイク・ダイヤモンド、ヘテロ・ダイヤモンド、Ib標準ダイヤモンド

共焦点ラマン分光法により、ホットフィラメント(HF)CVDダイヤモンド層を評価した結果を発表する。