[G] 分析・解析・評価

[10] 共焦点ラマン分光法によるHFCVDダイヤモンド層の評価

*田中 孝治¹、大曲 新矢¹、嶋岡 毅紘¹、梅沢 仁¹、山田 英明¹ (1. 産総研)

キーワード：ラマン分光法、共焦点、貫通転位、歪み場、HFCVD層、モザイク・ダイヤモンド、ヘテロ・ダイヤモンド、Ib標準ダイヤモンド

共焦点ラマン分光法により、ホットフィラメント(HF)CVDダイヤモンド層を評価した結果を発表する。