日本金属学会2022年春期(第170回)講演大会

講演情報

一般講演

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[G] 分析・解析・評価

2022年3月15日(火) 13:00 〜 16:20 A会場

座長:井 誠一郎(物質・材料研究機構)、佐藤 和久(大阪大学)、赤嶺 大志(九州大学)

15:50 〜 16:05

[10] 共焦点ラマン分光法によるHFCVDダイヤモンド層の評価

*田中 孝治1、大曲 新矢1、嶋岡 毅紘1、梅沢 仁1、山田 英明1 (1. 産総研)

キーワード:ラマン分光法、共焦点、貫通転位、歪み場、HFCVD層、モザイク・ダイヤモンド、ヘテロ・ダイヤモンド、Ib標準ダイヤモンド

共焦点ラマン分光法により、ホットフィラメント(HF)CVDダイヤモンド層を評価した結果を発表する。

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