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[294] チタン不働態皮膜由来XPS価電子帯領域スペクトルの解析
キーワード:チタン、XPS、価電子帯スペクトル、角度分解法、アルゴンイオンスパッタ
Tiから検出される価電子帯スペクトルは、不働態皮膜由来のものとTiの下地金属由来のものとが重畳しており、そのまま解析することができない。Tiの不働態皮膜のみに由来する価電子帯領域スペクトルを明らかにした。
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