[S9] S9.金属・無機・有機材料の結晶方位解析と応用技術

[S9.1] [基調講演]結晶性固体粒子の衝突と変形による集合組織形成

*長谷川 誠¹ (1. 横浜国大工)

キーワード：集合組織、塑性変形、粒子衝突、エアロゾルデポジション

基材に粒子を衝突させて膜を形成するエアロゾルデポジション法を用いて、種々の結晶性固体粒子を対象に成膜を実施し、粒子の衝突時の塑性変形を考慮した集合組織の形成について検討した。