[G] Surface ,Interface and Catalysts

[174] Heat resistance of MeN-SiCN zoating (Me=transition matal)

*Taichi ITO¹, Taiki TSUCHIYA¹, Seungwon Lee¹, Kenji Matsuda¹, Susumu Ikeno², Masateru Nose² (1. University of Toyama, 2. Professor emeritus University of Toyama)

Keywords:硬質コーティング、透過型電子顕微鏡、スパッタリング、耐熱性

MeN-SiCN膜はMeN微結晶と耐熱性に優れたSiCN相の複合膜であり, 優れた機械的性質と耐酸化性を併せ持つ膜である。本研究では,様々な遷移金属窒化物でMeN-SiCN複合膜を作製し, 種々の膜の耐熱性について調査を行った。