日本金属学会2022年春期(第170回)講演大会

Presentation information

一般講演

5.Materials Chemistry » Surface ,Interface and Catalysts

[G] Surface ,Interface and Catalysts

Wed. Mar 16, 2022 9:30 AM - 11:40 AM Rm. E

Chair:Hiromi YAMASHITA

9:30 AM - 9:45 AM

[174] Heat resistance of MeN-SiCN zoating (Me=transition matal)

*Taichi ITO1, Taiki TSUCHIYA1, Seungwon Lee1, Kenji Matsuda1, Susumu Ikeno2, Masateru Nose2 (1. University of Toyama, 2. Professor emeritus University of Toyama)

Keywords:硬質コーティング、透過型電子顕微鏡、スパッタリング、耐熱性

MeN-SiCN膜はMeN微結晶と耐熱性に優れたSiCN相の複合膜であり, 優れた機械的性質と耐酸化性を併せ持つ膜である。本研究では,様々な遷移金属窒化物でMeN-SiCN複合膜を作製し, 種々の膜の耐熱性について調査を行った。

Please log in with your participant account.
» Participant Log In