[S5] Tailoring of novel-structured materials using spatio-temporal responses under exotic reaction fields

[S5.15] Nanostructure changes of Ag-Ni nanocomposites in SiO₂ solids by controlling the order of dual ion implantation

*Tomoko YAMADA¹, Akihiro IWASE^1,2, Toshiyuki MATSUI¹, Masaki MAEKAWA³, Atsuo KAWASUSO³, Satoshi SEMBOSHI⁴, Noboru TAGUCHI⁵, Shingo TANAKA⁵, Fuminobu HORI¹ (1. Osaka Pref. Univ., 2. WERC, 3. QST-Takasaki, 4. IMR, 5. AIST)

Keywords:金属ナノ粒子、イオン照射、微細構造

イオン注入法でSiO₂固体内に直接二重イオン照射を行ってナノ粒子を複合化させることを目的とし，照射順序による生成したナノ粒子の微細構造について検討している．