[S5] S5.特異反応場における時間/空間応答を利用した新奇材料構造創成

[S5.15] 二重イオン照射順序制御によるSiO₂固体内Ag-Niナノ構造体の微細構造変化

*山田 智子¹、岩瀬 彰宏^1,2、松井 利之¹、前川 雅樹³、河裾 厚男³、千星 聡⁴、田口 昇⁵、田中 真吾⁵、堀 史説¹ (1. 大阪府大工、2. 若狭湾エネ研、3. 量研機構高崎、4. 東北大金研、5. 産総研)

キーワード：金属ナノ粒子、イオン照射、微細構造

イオン注入法でSiO₂固体内に直接二重イオン照射を行ってナノ粒子を複合化させることを目的とし，照射順序による生成したナノ粒子の微細構造について検討している．