[G] Electric/Electronic/Optical Materials

[242] Local structure change of amorphous Cr₂Ge₂Te₆ upon crystallization

*Yuta SAITO¹, Shogo HATAYAMA¹, Yi SHUANG², Paul FONS^1,3, Alexander KOLOBOV^1,4, Yuji SUTOU　Yuji^2,5 (1. AIST, 2. Tohoku Univ.(AIMR), 3. Keio Univ., 4. Herzen Univ., 5. Tohoku Univ.(Eng.))

Keywords:アモルファス、結晶化、カルコゲナイド、局所構造、Cr₂Ge₂Te₆

相変化メモリ材料として注目されるCr₂Ge₂Te₆アモルファス薄膜の熱処理、結晶化に伴う局所構造変化を調査した。