[G] 電気・電子・光関連材料

[242] Cr₂Ge₂Te₆アモルファス薄膜の結晶化に伴う局所構造変化

*齊藤 雄太¹、畑山 祥吾¹、シュアン イ²、フォンス ポール^1,3、コロボフ アレクサンダー^1,4、須藤 祐司^2,5 (1. 産総研デバイス技術、2. 東北大AIMR、3. 慶應大理工、4. ゲルツェン大、5. 東北大工)

キーワード：アモルファス、結晶化、カルコゲナイド、局所構造、Cr₂Ge₂Te₆

相変化メモリ材料として注目されるCr₂Ge₂Te₆アモルファス薄膜の熱処理、結晶化に伴う局所構造変化を調査した。