[G] Electric/Electronic/Optical Materials

[244] Mechanical characteristics and polymorphic transformation in the MnTe compound film

*SHUNSUKE MORI¹, YINLI WANG¹, DAISUKE ANDO¹, FUMIO NARITA², YUJI SUTOU^1,3 (1. Tohoku Univ. (Eng.), 2. Tohoku Univ. (Environ.), 3. AIMR)

Keywords:半導体、薄膜、多形変化、機械的特性、熱応力

MnTe化合物薄膜はウルツ鉱型とNiAs型構造間で結晶構造が変化（多形変化）し、同時に物性が大きく変化する材料である。本講演では、MnTe薄膜の機械的特性と熱応力が多形変化に及ぼす影響について発表する。