[G] 電気・電子・光関連材料

[244] MnTe化合物薄膜の機械的特性と多形変化

*森 竣祐¹、王 吟麗¹、安藤 大輔¹、成田 史生²、須藤 祐司^1,3 (1. 東北大工、2. 東北大環境、3. 東北大学材料科学高等研究所)

キーワード：半導体、薄膜、多形変化、機械的特性、熱応力

MnTe化合物薄膜はウルツ鉱型とNiAs型構造間で結晶構造が変化（多形変化）し、同時に物性が大きく変化する材料である。本講演では、MnTe薄膜の機械的特性と熱応力が多形変化に及ぼす影響について発表する。