[KS] Future Growth Expected from Technological History of Materials IV - Analytical and Evaluation Instruments -

[K2.1] Mechanical characterization in a small scale through nanoindentation technique

*Ohmura Takahito¹ (1. National Institute for Materials Science)

Keywords:ナノインデンテーション、局所力学挙動、転位

薄膜 などのナノ材料 のダウンサイ ズ化 に伴い，微小領域の力学挙動測定法の１つとして ナノインデンテーション法が発達してきた。本講演では，ナノインデンテーション法の特徴と最近の応用 例について 述べる。