[J] Physico-chemical properties of high temperature melts

[J20] Solution growth of AlN on AlN/sapphire template using Ni-Al melt

*Rintaro MIYATA¹, Masayoshi ADACHI¹, Makoto OHTSUKA¹, Hiroyuki FUKUYAMA¹ (1. IMRAM, Tohoku Univ.)

Keywords:結晶成長、窒化アルミニウム、液相成長

本研究では、AlN作製法の確立を目指し、ガス冷却管を導入してフラックス内に温度差をつけることでAlNの連続成長の可能性について検討するとともに、結晶成長前の合金融液への窒素溶解過程の効果についても調査した。