[G] Melting and solidification process/High temperature process

[75] Solution growth of single-crystalline AlN using Ni-Al flux

*Taichi NAGASAKU¹, Masayoshi ADACHI¹, Makoto OHTSUKA¹, Hiroyuki FUKUYAMA¹ (1. IMRAM, Tohoku Univ.)

Keywords:結晶成長、窒化アルミニウム、液相成長

本研究では、Ni-Alフラックスを用いた液相成長法に着目し、低コスト・量産可能な新たなAlN単結晶成長プロセスの開発を提案する。本手法により、バルクAlN単結晶上へのAlNの結晶成長を試みた結果について報告する。