[G] 溶融・凝固プロセス 高温プロセス

[75] Ni-Alフラックスを用いた単結晶AlNの液相成長

*永作 太一¹、安達 正芳¹、大塚 誠¹、福山 博之¹ (1. 東北大 多元研)

キーワード：結晶成長、窒化アルミニウム、液相成長

本研究では、Ni-Alフラックスを用いた液相成長法に着目し、低コスト・量産可能な新たなAlN単結晶成長プロセスの開発を提案する。本手法により、バルクAlN単結晶上へのAlNの結晶成長を試みた結果について報告する。