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[76] Gibbs-Thomson溶媒を用いたSiC溶液成長時の成長界面におけるステップバンチング機構の検討
キーワード：液相成長、合金溶液、エピタキシー、ナノ粒子
SiC微粒子のGibbs-Thomson効果を利用した新たなSiC液相成長法を用い，成長面内の過飽和度分布とステップフロー方向の相関性を調べ，ステップバンチングの抑制方法について検討した．
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