日本金属学会2022年春期(第170回)講演大会

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一般講演

6.Materials Processing » Solid process/ Solid and welding process

[G] Solid process/Solid and welding process

Thu. Mar 17, 2022 1:00 PM - 5:00 PM Rm. G

Chair:Shinji Fukumoto(Osaka University), Tomoya NAGIRA(NIMS)

3:50 PM - 4:05 PM

[232] Coating Film Behavior at Heating of Traditional Gold Leaf and Bonding Gold Wire

*Osamu OHASHI1, Takashi HARUMOTO2, Konomi IKita3, Kenichi Tsutsumi3, Hiroshi Onodera3, Takashi Kimura4, Kensaku Aihara5, Hidetoshi Namiki5 (1. WELLBOND, 2. Tokyo Institute of Technology, 3. JEOL, 4. NIMS, 5. Tokyo Univ. of Arts)

Keywords:ワイヤボンディング、金線、金箔、截金、伝統工芸、オージェ電子分光分析

300〜400°C加熱 で金箔表面のCが消失して、金箔同士の接合が可能となる事を先に報告した。本報告では、最先端の半導体デバイスに使用されるワイヤボンディング金線と金箔の加熱時の表面被覆材の脱離挙動を比較する。

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