[G] Hard Magnetic Materials

[261] Structure and magnetic properties for Sm(Fe-Co)-B square pattern arrays by micro-fabrication method

*Yuichi Mori¹, Shintaro Hatanaka², Morito Kambayashi¹, Soma Watanabe¹, Masaaki Doi³, Toshiyuki Shima³ (1. Tohoku Gakuin Univ., 2. Tohoku Gakuin Univ., 3. Tohoku Gakuin Univ.)

Keywords:RFe₁₂ 化合物、微細加工、保磁力

Sm(Fe-Co)-B薄膜の保磁力向上を目指し、正方形配列パターンに微細加工した試料の磁気特性及び結晶構造を調査した。キャップ層の成膜及び熱処理を行うことで保磁力の向上を確認した。講演ではその要因を考察する。