[P] P21~P26

[P23] Molecular dynamics study of residual stress evolution in the formation process of diamond-like carbon film

*Noritsugu KAMETANI¹, Morimasa NAKAMURA², Kisaragi YASHIRO³, Tomohiro TAKAKI⁴ (1. Kyoto Inst. of Tech., 2. Doshisha Univ., 3. Gifu Univ., 4. Kyoto Inst. of Tech.)

Keywords:ダイヤモンドライクカーボン、薄膜形成、残留応力、分子動力学法、シミュレーション

DLC膜は，膜内部に数GPaもの高い残留応力を有するため，はく離しやすいという問題を抱えている．本研究では，DLC 膜形成過程の分子動力学シミュレーションを行い，膜内部の残留応力の発生メカニズムの解明を試みた．