[P] P21~P26

[P24] ロッシェル塩浴からの無電解銅めっき膜中の水素分析

*林 和磨¹、任田 光佑²、福室 直樹³、八重 真治³ (1. 兵庫県立大工（学生）、2. 兵庫県立大工（院生）、3. 兵庫県立大工)

キーワード：無電解銅めっき、水素、昇温脱離スペクトル、X線回折、透過電子顕微鏡

本研究では、昇温脱離スペクトル(TDS)によりロッシェル塩を錯化剤とする低温操作型無電解銅めっきにおいて、膜中に共析した水素の存在状態を分析した。