[P] P46,P47

[P47] Improvement of optical and electrical properties by adding metallic elements to ZnO thin film

*Taiga KOBAYASHI¹, Haruki YAMANE², Masanobu KOBAYASHI¹ (1. Chiba Institute of Technology, 2. Akita Industrial Technology Center)

Keywords:ZnO、透明電極、酸化物半導体

現在、透明電極としてITOが使用されている。しかし、将来安定した供給が不安視されており、代替材料の研究が進められている。本研究ではZnOに遷移金属を添加した際の光学的・電気的特性の変化について検討した。