[P] P53~P61

[P61] 超音波接合における発振周波数とAlワイヤ組織の関係

*石塚 智也¹、岩本 知広¹、堀内 涼太郎¹、濱田 賢祐² (1. 茨城大学、2. 超音波工業(株))

キーワード：超音波接合、ウェッジボンディング、Alワイヤ、EBSD、周波数

周波数40kHzと110kHでAlワイヤとAl基板を超音波接合した。EBSDによってAlワイヤの組織解析を行った結果、周波数110kHzによる接合では、ひずみの少ない領域がワイヤ全体に広く分布することが分かった。