[P] P68~P73

[P70] Effect of Residual Water in Vacuum on InN Films Fabricated by Glancing-angle Sputtering

*Daichi Oikawa¹, Yasushi Inoue², Osamu Takai³ (1. Chiba Inst. Technol., 2. Chiba Inst. Technol., 3. Kanto Gakuin Univ.)

Keywords:斜入射堆積法、窒化インジウム、残留水、吸着誘起型エレクトロクロミック

残留水を制御することでInN薄膜の色変化波長領域にどのような影響を与えるのか調査した．シリカゲルを用いた水導入により光吸収端は長波長側にシフトした．