[P] P48~P52

[P50] Low-temperature Crystallization of Si thin films using Au

*Ryo Yoneda¹, Kentaro Kyuno² (1. Shibaura Univ., 2. SIT International Research Center for Green Electronics)

Keywords:半導体、シリコン、結晶化

MIC法を用いたシリコンの結晶化について諸条件の変化に伴う表出される組織の変化についての観察