[P] P48~P52

[P50] MIC法によるAuを触媒にしたSi薄膜の低温結晶化

*米田 了¹、弓野 健太郎² (1. 芝浦工業大学大学院、2. 芝浦工業大学グリーンエレクトロニクス国際研究センター)

キーワード：半導体、シリコン、結晶化

MIC法を用いたシリコンの結晶化について諸条件の変化に伴う表出される組織の変化についての観察