[P] P48~P52

[P51] Auで被覆した加熱基板上へのスパッタによるGe結晶薄膜の低温成長

*島村 侑弥¹、弓野 健太郎² (1. 芝浦工大理工(院生)、2. 芝浦工大理工)

キーワード：Au、Ge結晶、AuGe合金

Au等の金属は半導体材料であるGeを低温で結晶化させる触媒作用を有していることが知られている。本実験では、Auで被覆した加熱基板上にGeを成膜し、観察してGeの結晶を確認した。