反射電子とX線信号を一つの検出器で収集可能なBEXイメージングシステムは、従来の二次電子と反射電子に加え、組成情報も同じ操作感でイメージングが可能です。Unity検出器は反射電子とX線信号を収集するセンサーを一つの検出器にパッケージ化し、SEMのポールピース下に挿入することで、高速・高精細なBEXイメージングが実現し、分析業務の効率を飛躍的に高めることが可能となります。
　
Symmetry S3はEBSD分析ソフトウェアAZtecHKLとの組み合わせによって、最大毎秒5700ポイント以上の高速分析を実現し、詳細なEBSDマップや大面積マップをより短時間で収集できます。光ファイバー光学系を採用し、最大1244x1024ピクセルの高解像度パターンを、低加速電圧・低ビーム電流での収集が可能です。
　
AZtecCrystalは、大容量のEBSDデータを高速で処理可能なデータ処理専用ソフトウェアです。各種マップ解析やひずみ解析、粒界・グレイン解析、極点図やODFなど、使いやすいGUIによって迅速に解析することができます。最新のバージョンでは、Parent Grain解析やDislocation解析等、最先端の解析機能を搭載しています。
今回新たにMapSweeper機能が搭載されました。MapSweeperはパターンシミュレーションを使ったパターンマッチングアルゴリズムにより、EBSDデータの品質を高めます。角度精度の向上、疑似対称性エラーや対称性による指数付けエラーを除去します。
　
高速EDS検出器UltimMaxシリーズとの組み合わせにより、革新的なライブケミカルイメージング機能を実現し、リアルタイム元素マップを観察可能です。効率的に目的の視野を探し、目的の元素を見逃すことはありません。また高速収集により、EDS分析のスループットが飛躍的に向上します。