[P] P1~P5

[P5] Ag-Sb合金を用いたGe薄膜の低温結晶化

*浅野 友太¹、弓野 健太郎^1,2 (1. 芝浦工大(院生)、2. 芝浦工大グリーンエレクトロニクス国際研究センター)

キーワード：半導体薄膜

本研究ではMIC法を用い、Geの低温結晶化を試みた。先行研究でAg-Sbを金属触媒に用いた場合でもGeの結晶化が確認できた。今回は成膜順を逆にし、Ge、Ag-Sbの順で成膜した。