[P] P143~P150

[P147] Realization of high coercivity for Sm(Fe-Co) square dot arrays

*Shintaro Hatanaka¹, Soga Nakatsuka¹, Shingo Ito¹, Masaaki Doi¹, Toshiyuki Shima¹ (1. Tohoku Gakuin Univ.)

Keywords:α-Fe phase、Coercivity、Electron-beam lithography、Thin film、ThMn₁₂-type structure

Sm(Fe_0.8Co_0.2)₁₂系薄膜の保磁力向上のため、Smシード層を導入したSm(Fe_0.8Co_0.2)₁₂薄膜を微細加工した。その結果、保磁力は減少したが角形比は向上した。