[P] P266~P278

[P266] Theoretical study of etching processes of Ti-, Mo-, and (Mo, Ti)-based MXene
using first-principles calculations

*Kakeru Homma¹, Yuji Kunisada², Norihito Sakaguchi² (1. Grad. School Eng., Hokkaido Univ., 2. Faculty Eng., Hokkaido Univ.)

Keywords:第一原理計算、MXene、二次元触媒材料、セラミックス材料、エッチング

近年触媒材料として注目されているMXeneは、MAX相からA元素の除去が可能かどうかが収率を左右する課題である。本研究では、エッチングにおけるM元素とA元素の原子種依存性について第一原理計算を用いて調査した。