[P] P266~P278

[P278] Fabrication of lotus-type porous silicon by the Bridgman method

*Shogo OTA¹, Yoshitaka Watanabe², Teruyuki Ikeda³ (1. Graduate School of Sci. and Eng., Ibaraki Univ., 2. College of Eng., Ibaraki Univ., 3. Graduate School of Sci. and Eng., Ibaraki Univ.)

Keywords:熱電材料、ポーラス材料、一方向凝固、ブリッジマン法

本研究では，凝固速度の制御が可能であるブリッジマン法による多孔質Siの作製を試みた．実験では，坩堝の引下げ速度とH₂-Ar雰囲気の分圧を変化させ，ポロシティや生成するポアのポア径，伸張方向への影響を調べた．