[P] P60~P76

[P71] Deposition of thin films of Cantor alloy using
Pulsed laser deposition

*Hiroki Minowa¹, Daisuke Tanada¹, Kazuhiro Ishikawa², Yoji Miyajima² (1. Kanazawa Univ. (Grad. Student), 2. Kanazawa Univ.)

Keywords:ハイエントロピー合金、Cantor合金、PVD、PLD

代表的なHEAであるCantor合金をモデル材として選択し，PLDを用いたCantor合金薄膜作製を試みた．表面から1 μmほどの内部に厚さが1 μm程度の Co, Cr, Mn, Fe, Ni, Al から構成される領域が観察された．