[G] 表面・界面・触媒

[16] N/Ru比の異なるRu窒化物の作製と酸性溶液中での酸素発生特性の調査

*織田 隼輔¹、祐樹 長谷川²、倫久 福本¹、弘樹 高橋¹ (1. 秋田大理工（院生）、2. 秋田大理工（学生）)

キーワード：Ru窒化物、酸素発生、スパッタ

水電解反応は，アノードでの酸素発生反応の速度が遅いことが指摘され、そこで，新規アノードとしてRu窒化物に着目し，反応性スパッタによるRu窒化物の合成条件とその酸素発生特性について調査した。