[G] 分析・解析・評価

[58] μプローブSTEMを用いたナノ結晶材料のキャラクタリゼーション

*宇部 卓司¹ (1. JFEテクノリサーチ株式会社)

キーワード：ナノ結晶材料、軟磁性鉄粉、STEM、回折法、DPC

透過走査電子顕微鏡(STEM)の電子線を平行度を高めたまま細く絞ることでμプローブSTEMモードとし、透過電子が形成する電子回折図形の重心位置を検出することで非晶質相とナノ結晶を迅速に識別する技術を開発した。