[G] Analysis/Characterization/Evaluation

[62] STEM-EELS analysis of growth mechanism of Pb(Zr,Ti)O₃ thin films by solid-state epitaxy

*Takanori KIGUCHI¹, Hiroshi UCHIDA², Takahisa SHIRAISHI¹ (1. Kumamoto univ., 2. Sophia univ.)

Keywords:STEM-EELS、強誘電体、固相エピタキシー、界面構造、結晶成長

有機金属錯体の熱分解(MOD)を利用した化学溶液堆積(CSD)法によるPbZr_xTi_1-xO₃（x=0.3）(PZT)薄膜の固相エピタキシーにおいて、非晶質前駆体の結晶化に伴う界面構造と結晶成長機構についてSTEM-EELS法で解析した。