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[299] スパッタリング法によるSi添加γ-Fe2O3薄膜の耐酸化性
キーワード：薄膜、鉄酸化物、耐酸化性、Si、無機材料
Si添加γ-Fe2O3薄膜の耐酸化性について検討を行った。その結果、Siを2.8at.%添加したFe3O4はγ-Fe2O3に相転移し、256日間の大気中熱処理において比較的良好な耐酸化性を発現する．
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