[S6] S6.New Materials Science on Nanoscale Structures and Functions of Crystal Defect Cores, IV(1)

[S6.10] Automatic Correction of Thermal Drift in Scanning Probe Microscopy Imaging Using Feature Point Matching

*Zhuo Diao¹, Keiichi Ueda^1,2, Linfeng Hou¹, Hayato Yamashita¹, Oscar Custance³, Masayuki ABE¹ (1. Osaka Univ., 2. TIRI, 3. NIMS)

Keywords:走査型プローブ顕微鏡、走査型トンネル顕微鏡、特徴点、熱ドリフト、原子分解能

走査型プローブ顕微鏡における、特徴点マッチングを用いた熱ドリフトの自動補正技術を開発した。連続で取得した画像の特徴点のマッチングペアを作り、ペア間の位置ずれからドリフト量とドリフト速度を算出する。