[S6] S6.機能コアの材料科学 IV(1)

[S6.10] 特徴点マッチングを用いた走査型プローブ顕微鏡イメージングの熱ドリフト自動補正

*Diao Zhuo¹、上田 啓市^1,2、Hou Linfeng¹、山下 隼人¹、Custance Oscar³、阿部 真之¹ (1. 阪大基礎工、2. 都産技研、3. 物材機構)

キーワード：走査型プローブ顕微鏡、走査型トンネル顕微鏡、特徴点、熱ドリフト、原子分解能

走査型プローブ顕微鏡における、特徴点マッチングを用いた熱ドリフトの自動補正技術を開発した。連続で取得した画像の特徴点のマッチングペアを作り、ペア間の位置ずれからドリフト量とドリフト速度を算出する。