[S6] S6.機能コアの材料科学 IV(2)

[S6.17] 深さ断層STEM法によるSrTiO₃Σ5粒界の3次元原子構造解析

*今田 隆浩¹、石川 亮²、川原 一晃²、佐々野 駿²、幾原 雄一^2,3、柴田 直哉^2,3 (1. 東大工（院生）、2. 東大工、3. JFCC)

キーワード：STEM、3次元原子構造、深さ断層法

大収束角STEMを用いた深さ断層法により，チタン酸ストロンチウム(SrTiO₃)Σ5粒界の観察を行い，取得した焦点位置の異なるSTEM明視野像から3次元表面/裏面構造の再構成および試料厚みの推定を行った．