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[42] チタンの陽極酸化における電流挙動と生成した酸化皮膜特性に及ぼすアニオンの影響
キーワード:陽極酸化皮膜、酸化物半導体
本研究では、種々のアニオンを含む溶液中で陽極酸化を行い、陽極酸化中の電流挙動に対するアニオンの影響を検討し、さらに生成した酸化皮膜のインピーダンスを測定し、電子物性について調査した。
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